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一种真空镀膜机工件架高速旋转架
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922486503.5
申请日：
2019-12-30
公开(公告)号：
CN211199395U
公开(公告)日：
2020-08-07
发明(设计)人：
苏雄宇
陈宪纬
刘振波
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南七道20号深圳国家工程实验室大楼B903
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
代理机构：
荆门市森皓专利代理事务所(普通合伙) 42253
代理人：
王青松
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-07 | 授权 | 授权 |