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激光光斑测量系统及方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201610848411.5
申请日
:
2016-09-23
公开(公告)号
:
CN107869956A
公开(公告)日
:
2018-04-03
发明(设计)人
:
蓝科
王诗华
申请人
:
申请人地址
:
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号
:
G01B1102
IPC分类号
:
G01B1124
代理机构
:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
:
屈蘅;李时云
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-04-10
授权
授权
2018-04-03
公开
公开
2018-05-01
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20160923
共 50 条
[1]
激光光斑焦面测量系统及测量方法
[P].
赖勇
论文数:
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
赖勇
;
黄元昊
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
黄元昊
;
刘晓
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
刘晓
;
蓝科
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
蓝科
;
刁雷
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
刁雷
;
李润芝
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
李润芝
;
刘剑锐
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
刘剑锐
.
中国专利
:CN118275081A
,2024-07-02
[2]
激光光斑落点标记、空间测量方法及测量系统
[P].
郑文
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郑文
;
林恒
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林恒
;
张翔
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张翔
.
中国专利
:CN112815842A
,2021-05-18
[3]
激光光斑测量装置及其测量方法
[P].
周望
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周望
;
沈为民
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沈为民
;
周健康
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周健康
;
陈新华
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陈新华
.
中国专利
:CN101458067A
,2009-06-17
[4]
远场激光光斑测量装置
[P].
富容国
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富容国
;
张红
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张红
;
周鸣
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周鸣
;
陈江南
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陈江南
;
杜振伟
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杜振伟
;
段赐琛
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段赐琛
;
钱芸生
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钱芸生
;
刘磊
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刘磊
;
张俊举
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张俊举
;
张益军
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张益军
;
邱亚峰
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邱亚峰
.
中国专利
:CN111121964A
,2020-05-08
[5]
红外激光光斑测量板
[P].
郑岩
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郑岩
;
孙焕英
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孙焕英
.
中国专利
:CN2300895Y
,1998-12-16
[6]
激光光斑测量仪
[P].
侯再红
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侯再红
;
吴毅
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吴毅
;
汪超
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汪超
;
袁育凯
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袁育凯
;
李保生
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李保生
.
中国专利
:CN2478088Y
,2002-02-20
[7]
一种激光光斑测量装置
[P].
褚渊
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褚渊
;
谢万活
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谢万活
;
周立
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周立
.
中国专利
:CN218271328U
,2023-01-10
[8]
激光光斑动态测量方法及测量仪
[P].
曹强
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曹强
;
王如泉
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王如泉
.
中国专利
:CN102564614A
,2012-07-11
[9]
一种激光光斑中心的测量装置及方法
[P].
卢志瀚
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卢志瀚
;
唐茂勇
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唐茂勇
;
唐谦
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唐谦
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刘丽娟
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刘丽娟
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王朋朋
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王朋朋
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朴贤镇
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朴贤镇
.
中国专利
:CN111426266B
,2020-07-17
[10]
基于激光光斑的沉降位移测量方法及装置
[P].
辜捷
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辜捷
.
中国专利
:CN111322982A
,2020-06-23
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