一种基于直反射三光路激光外差干涉渐开线样板测量的光学系统方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010741134.4

申请日：

2020-07-29

公开(公告)号：

CN112033300B

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

陈洪芳王煜孙梦阳石照耀

申请人：

申请人地址：

100124 北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01B902

代理机构：

北京思海天达知识产权代理有限公司 11203

代理人：

沈波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-04	公开	公开
2020-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20200729
2021-07-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于直反射三光路激光外差干涉的渐开线样板测量方法 [P].

陈洪芳 ;

王煜 ;

汤亮 ;

张爽 ;

石照耀 .

中国专利 :CN111256615B ,2020-06-09

[2]

一种基于直反射三光路激光外差干涉渐开线样板测量的光学非线性误差补偿方法 [P].

陈洪芳 ;

王煜 ;

石照耀 .

中国专利 :CN113819840B ,2021-12-21

[3]

基于外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量光学系统仿真方法 [P].

陈洪芳 ;

汤亮 ;

石照耀 ;

姜博 ;

宋辉旭 .

中国专利 :CN109238132B ,2019-01-18

[4]

基于激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量系统 [P].

陈洪芳 ;

姜博 ;

石照耀 ;

李宝山 ;

汤亮 .

中国专利 :CN109084676B ,2018-12-25

[5]

激光外差共路干涉方法及其光学系统 [P].

韩昌元 ;

顾去吾 ;

卢振武 ;

刘斌 .

中国专利 :CN1079055A ,1993-12-01

[6]

一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置和方法 [P].

白洋 ;

鲁云峰 ;

李正坤 ;

张钟华 ;

贺青 .

中国专利 :CN108645343A ,2018-10-12

[7]

一种适于评定渐开线测量仪器的大尺寸渐开线样板设计方法 [P].

陈洪芳 ;

李宝山 ;

石照耀 ;

李长亮 ;

孙衍强 .

中国专利 :CN109540060A ,2019-03-29

[8]

一种三光楔激光旋切光学系统 [P].

侯鑫瑞 ;

周强 ;

张轩 ;

陈绪诚 ;

贺磊 ;

李望望 .

中国专利 :CN217493052U ,2022-09-27

[9]

一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置 [P].

凌四营 ;

孔玉梅 ;

赵昌明 ;

凌明 ;

王立鼎 .

中国专利 :CN113465535B ,2021-10-01

[10]

一种低噪声的激光外差干涉光路系统 [P].

倪海峰 ;

丁志鸿 ;

陶小凯 ;

刘凯 ;

王树伦 ;

赵寰 ;

陈乃澍 .

中国专利 :CN209148138U ,2019-07-23

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