真空镀膜设备及真空镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010254973.3

申请日：

2020-04-02

公开(公告)号：

CN111575652A

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

陈益钢程竞经

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区上大路99号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

上海上大专利事务所(普通合伙) 31205

代理人：

顾勇华

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20200825
2020-08-25	公开	公开
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20200402

共 50 条

[1]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[2]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[3]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[5]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

戴晓东 ;

余海春 ;

杨启忠 .

中国专利 :CN118621290A ,2024-09-10

[6]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[7]

真空镀膜夹具及真空镀膜设备 [P].

朱双林 ;

马国忠 .

中国专利 :CN119162552A ,2024-12-20

[8]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[9]

真空镀膜设备 [P].

邵建鑫 ;

冯旭光 ;

李通光 .

中国专利 :CN217052366U ,2022-07-26

[10]

蒸发装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194365A ,2024-12-27

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