一种基于砂轮划片机的半导体芯片清洗机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN202020735092.9
申请日
2020-05-07
公开(公告)号
CN212190309U
公开(公告)日
2020-12-22
发明(设计)人
孙家全 白雪峰 安明浩 潘禄 徐长远
申请人
申请人地址
110179 辽宁省沈阳市浑南新区浑南东路19号107室
IPC主分类号
B08B302
IPC分类号
F26B2100 H01L2167
代理机构
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589
代理人
徐家升
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
划片机半导体芯片清洗控制系统 [P]. 
叶十逢 ;
俞子强 .
中国专利 :CN118943060A ,2024-11-12
[2]
划片机半导体芯片清洗控制系统 [P]. 
叶十逢 ;
俞子强 .
中国专利 :CN118943060B ,2024-12-20
[3]
一种半导体芯片清洗机 [P]. 
丁剑 ;
黄自柯 ;
赵晗 ;
林生海 .
中国专利 :CN119208195A ,2024-12-27
[4]
一种半导体芯片清洗机 [P]. 
丁剑 ;
黄自柯 ;
赵晗 ;
林生海 .
中国专利 :CN119208195B ,2025-06-10
[5]
一种划片机的清洗机构 [P]. 
徐银森 ;
林毛毛 ;
廖波 .
中国专利 :CN221573865U ,2024-08-20
[6]
一种砂轮划片机 [P]. 
廖招军 ;
吴鹏飞 ;
谢锦鹏 ;
张智广 .
中国专利 :CN209140622U ,2019-07-23
[7]
一种砂轮划片机用快速定位的芯片吸盘 [P]. 
徐长远 ;
刘胜英 ;
马勃宇 .
中国专利 :CN216084834U ,2022-03-18
[8]
一种砂轮划片机切割用定位机构 [P]. 
徐长远 ;
安明浩 ;
马勃宇 .
中国专利 :CN215510568U ,2022-01-14
[9]
一种基于砂轮划片机的Z轴结构 [P]. 
刘文军 .
中国专利 :CN208866984U ,2019-05-17
[10]
一种激光砂轮划片机 [P]. 
李丰 .
中国专利 :CN207771261U ,2018-08-28