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反应气体可均匀扩散的立式扩散炉

被引：0
申请号：
CN202123005186.4
申请日：
2021-12-02
公开(公告)号：
CN216624217U
公开(公告)日：
2022-05-27
发明(设计)人：
何威威
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区长阳街415号2号楼5楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947
代理人：
程文栋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-27 授权 授权
共 50 条
[1]
一种提升反应气体扩散均匀性的扩散炉 [P]. 
牛新海 ;
李志坤 .
中国专利 :CN213357737U ,2021-06-04
[2]
立式扩散炉 [P]. 
张海林 ;
刘国霞 .
中国专利 :CN208954949U ,2019-06-07
[3]
一种扩散均匀的扩散炉 [P]. 
冉红星 ;
张飞 ;
徐明靖 ;
孙铁囤 .
中国专利 :CN222865559U ,2025-05-13
[4]
扩散炉 [P]. 
张玉 ;
胡俊龙 ;
丁志强 ;
刘岳章 ;
宁成森 .
中国专利 :CN220284291U ,2024-01-02
[5]
一种扩散均匀的电池片生产用扩散炉 [P]. 
何其金 ;
徐小萍 ;
侯奎 ;
李亚楠 ;
陈荣钰 .
中国专利 :CN119800516A ,2025-04-11
[6]
一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构 [P]. 
张中伟 ;
曹立勇 ;
李阳 ;
张鑫 .
中国专利 :CN203866406U ,2014-10-08
[7]
一种扩散均匀且高效的扩散炉 [P]. 
吕志红 ;
王银庆 .
中国专利 :CN223280976U ,2025-08-29
[8]
一种均匀扩散硼扩散炉反应气的结构 [P]. 
李阳 ;
曹立勇 ;
张中伟 ;
张鑫 .
中国专利 :CN203871351U ,2014-10-08
[9]
用于改善扩散炉内气体均匀性的进气装置 [P]. 
何佳龙 ;
袁正国 .
中国专利 :CN221645128U ,2024-09-03
[10]
立式扩散炉 [P]. 
张海林 .
中国专利 :CN303998085S ,2017-01-04
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