一种基于多角度控制机构的蚀刻装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201820354939.1
申请日
2018-03-15
公开(公告)号
CN207765421U
公开(公告)日
2018-08-24
发明(设计)人
许孟凯 林豪 黄建顺 王嘉伟 陈胜男 林张鸿 林伟铭
申请人
申请人地址
351117 福建省莆田市涵江区涵港西路368号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
代理机构
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人
林祥翔;徐剑兵
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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