一种宽温域纳米复合结构碳基自润滑薄膜及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911420210.5
申请日
2019-12-31
公开(公告)号
CN111041442A
公开(公告)日
2020-04-21
发明(设计)人
李泽清 何卫锋 张虹虹 聂祥樊 张广安 李应红
申请人
申请人地址
710049 陕西省西安市咸宁西路28号
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C23C1416 C23C1402 C23C1406
代理机构
西安通大专利代理有限责任公司 61200
代理人
范巍
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种Si、WC增强复合多层非晶碳基宽温域润滑薄膜及其制备方法 [P]. 
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[2]
一种宽温域自润滑Si、WC组元掺杂的非晶碳基薄膜及其制备方法 [P]. 
李泽清 ;
何卫锋 ;
张虹虹 ;
张广安 ;
聂祥樊 .
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[3]
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[7]
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[8]
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[9]
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鞠洪博 ;
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[10]
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