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MEMS压电扬声器及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810081204.0
申请日：
2018-01-26
公开(公告)号：
CN110085735A
公开(公告)日：
2019-08-02
发明(设计)人：
李俊红
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E宿舍楼15幢
IPC主分类号：
H01L4108
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
曹玲柱
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-08-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/08 申请日:20180126 |