半导体生产系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220713019.7

申请日：

2012-12-20

公开(公告)号：

CN203054550U

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

苏育家

申请人：

申请人地址：

314300 浙江省嘉兴市浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼

IPC主分类号：

G05B19418

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

专利权的保全及其解除

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-03	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707811482 IPC(主分类):G05B 19/418 专利号:ZL2012207130197 申请日:20121220 授权公告日:20130710 登记生效日:20141029 解除日:无
2013-07-10	授权	授权
2016-05-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661347701 IPC(主分类):G05B 19/418 专利号:ZL2012207130197 申请日:20121220 授权公告日:20130710 终止日期:20141220
2015-12-23	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725705233 IPC(主分类):G05B 19/418 专利号:ZL2012207130197 申请日:20121220 授权公告日:20130710 登记生效日:无解除日:20151029

共 50 条

[1]

半导体生产系统 [P].

苏育家 .

中国专利 :CN103076772A ,2013-05-01

[2]

半导体生产系统 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119400743A ,2025-02-07

[3]

半导体生产系统 [P].

刘金 ;

张京晶 .

中国专利 :CN223360440U ,2025-09-19

[4]

一种半导体生产系统 [P].

李静远 ;

李楠 ;

邱俊杰 .

中国专利 :CN208478284U ,2019-02-05

[5]

供水系统及半导体生产系统 [P].

张学海 .

中国专利 :CN221193530U ,2024-06-21

[6]

半导体生产系统和方法 [P].

尹民洪 ;

前田茂伸 ;

金庆泰 ;

金东铉 ;

朴常允 .

韩国专利 :CN118507382A ,2024-08-16

[7]

应用于半导体生产车间的保压测漏装置及半导体生产系统 [P].

曹小康 ;

芮守祯 ;

何茂栋 .

中国专利 :CN215262298U ,2021-12-21

[8]

一种半导体生产系统 [P].

Y－E·李 ;

J·帕甘尼斯 ;

D·瓦萨罗 ;

G·K·弗莱明 .

中国专利 :CN1169192C ,2002-09-04

[9]

交易请求的处理方法及半导体生产系统 [P].

黎焕诚 .

中国专利 :CN113535413A ,2021-10-22

[10]

清洁结构、晶圆处理系统及半导体生产系统 [P].

黄政 .

中国专利 :CN223006747U ,2025-06-20

← 1 2 3 4 5 →