返工方法以及酸性清洗液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811593567.9

申请日：

2018-12-25

公开(公告)号：

CN110034009A

公开(公告)日：

2019-07-19

发明(设计)人：

平野勋濑下武广昆野健理

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

G03F742 C11D734

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

毛立群

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20181225
2019-07-19	公开	公开

共 50 条

[1]

碱性清洗液、酸性清洗液和超滤膜清洗方法 [P].

任鹏飞 ;

栾金义 ;

杨永强 ;

张新妙 ;

奚振宇 ;

彭海珠 .

中国专利 :CN110605027B ,2019-12-24

[2]

酸性套管清洗液组合物和酸性套管清洗液的制备方法 [P].

胡德华 .

中国专利 :CN106635449A ,2017-05-10

[3]

基板清洗液以及基板清洗方法 [P].

井田纯一 ;

永井达夫 .

中国专利 :CN104871296B ,2015-08-26

[4]

清洗液以及清洗液与油墨组的套件 [P].

神谷美贵 .

中国专利 :CN106009886A ,2016-10-12

[5]

清洗液、其配置方法以及清洗方法 [P].

朱永明 .

中国专利 :CN103555464A ,2014-02-05

[6]

李盈壕 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN1646732A ,2005-07-27

[7]

井合隆 .

中国专利 :CN110709178A ,2020-01-17

[8]

户田和昭 .

中国专利 :CN109312274A ,2019-02-05

[9]

古旗朝隆 .

中国专利 :CN102387925A ,2012-03-21

[10]

井合隆 .

中国专利 :CN111373025A ,2020-07-03

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