抛光装置及使用该抛光装置的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310574451.1

申请日：

2013-11-15

公开(公告)号：

CN103862368B

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

平野敦也志志目佳子工藤健三个月和人佐藤广树依田秀夫

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

B24B3900

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

曾贤伟;曹鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-18	公开	公开
2021-01-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 39/00 变更事项:专利权人变更前:三菱日立电力系统株式会社变更后:三菱动力株式会社变更事项:地址变更前:日本神奈川县变更后:日本神奈川县
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583750469 IPC(主分类):B24B 39/00 专利申请号:2013105744511 申请日:20131115
2014-11-26	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707469098 IPC(主分类):B24B 39/00 专利申请号:2013105744511 变更事项:申请人变更前权利人:株式会社日立制作所变更后权利人:三菱日立电力系统株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本神奈川县登记生效日:20141027
2016-09-14	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光装置及抛光方法 [P].

翁维襄 .

中国专利 :CN1672870A ,2005-09-28

[2]

抛光头及使用其的晶片抛光装置及抛光方法 [P].

中野裕生 ;

杉森胜久 ;

小佐佐和明 ;

梶原治郎 ;

山本胜利 ;

木原誉之 ;

寺川良也 .

中国专利 :CN112292750A ,2021-01-29

[3]

抛光垫、该抛光垫的制造方法及使用该抛光垫的抛光方法 [P].

徐章源 ;

安宰仁 ;

尹晟勋 ;

许惠暎 ;

尹钟旭 ;

文寿泳 .

中国专利 :CN112571273A ,2021-03-30

[4]

抛光垫、该抛光垫的制造方法及使用该抛光垫的抛光方法 [P].

徐章源 ;

安宰仁 ;

尹晟勋 ;

许惠暎 ;

尹钟旭 ;

文寿泳 .

中国专利 :CN112571303A ,2021-03-30

[5]

抛光垫、抛光装置及抛光方法 [P].

涩木俊一 .

中国专利 :CN1628374A ,2005-06-15

[6]

硅片边缘抛光装置、抛光鼓及抛光方法 [P].

白宗权 .

中国专利 :CN112692719A ,2021-04-23

[7]

抛光垫及使用了该抛光垫的抛光方法 [P].

竹越穣 ;

加藤充 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN109478507B ,2019-03-15

[8]

抛光装置及抛光方法 [P].

胡自化 ;

李鑫浩 ;

吴士成 ;

封龙龙 ;

秦长江 ;

陈小告 .

中国专利 :CN115488751A ,2022-12-20

[9]

抛光方法及抛光装置 [P].

季明华 .

中国专利 :CN118769029A ,2024-10-15

[10]

抛光方法及抛光装置 [P].

季明华 .

中国专利 :CN118559517A ,2024-08-30

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