一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820437311.8

申请日：

2018-03-29

公开(公告)号：

CN208189533U

公开(公告)日：

2018-12-04

发明(设计)人：

马胜南

申请人：

申请人地址：

300000 天津市宝坻区宝坻塑料制品工业区广仓道9号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置 [P].

管威 ;

聂先合 ;

王海龙 .

中国专利 :CN216064699U ,2022-03-18

[2]

一种硅片腐蚀清洗机自动补液装置 [P].

马胜南 .

中国专利 :CN208189534U ,2018-12-04

[3]

一种腐蚀清洗机自动补液装置 [P].

管威 ;

聂先合 ;

王海龙 .

中国专利 :CN210966124U ,2020-07-10

[4]

一种晶片的腐蚀清洗机自动补液装置 [P].

陈康 ;

张啟涛 ;

刘四化 ;

王宜 .

中国专利 :CN214411122U ,2021-10-15

[5]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[6]

硅片腐蚀清洗机 [P].

邵树宝 .

中国专利 :CN305544716S ,2020-01-10

[7]

一种硅片腐蚀清洗机 [P].

马胜南 ;

轩云喜 ;

陈永春 .

中国专利 :CN118099044B ,2024-06-25

[8]

一种硅片腐蚀清洗机 [P].

马胜南 ;

轩云喜 ;

陈永春 .

中国专利 :CN118099044A ,2024-05-28

[9]

一种硅片清洗机 [P].

李双江 ;

郭钊 .

中国专利 :CN203830375U ,2014-09-17

[10]

一种腐蚀液清洗机 [P].

莫宗君 .

中国专利 :CN207839493U ,2018-09-11

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