一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020974831.X
申请日
2020-05-31
公开(公告)号
CN212512411U
公开(公告)日
2021-02-09
发明(设计)人
张华芹 程佳彪
申请人
申请人地址
201612 上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1
IPC主分类号
F27B302
IPC分类号
F27B310 F27B318 F27B320 F27B322 F27B324 F27B328 F27D1700 C04B35584 C04B3564
代理机构
上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306
代理人
谢小军
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置 [P]. 
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程佳彪 .
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[2]
氮化硅粉体制备装置 [P]. 
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[3]
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[4]
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[5]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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