单晶硅棒的切方工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201110230936.X
申请日
2011-08-12
公开(公告)号
CN102328353A
公开(公告)日
2012-01-25
发明(设计)人
孙亮湖
申请人
申请人地址
214181 江苏省无锡市惠山区前洲街道洛洲路8号
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
代理机构
无锡市大为专利商标事务所 32104
代理人
殷红梅
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅棒切方工艺 [P]. 
杜正兴 .
中国专利 :CN101664970A ,2010-03-10
[2]
一种单晶硅棒切方工艺 [P]. 
韩勇 .
中国专利 :CN109834851A ,2019-06-04
[3]
单晶硅棒切方装置 [P]. 
赵体月 ;
刘西诚 ;
岳耀清 .
中国专利 :CN202053388U ,2011-11-30
[4]
单晶硅棒切方滚磨机床 [P]. 
秦建国 .
中国专利 :CN2885490Y ,2007-04-04
[5]
金刚线单晶硅棒切方设备 [P]. 
傅林坚 ;
何守龙 ;
曹建伟 ;
沈文杰 ;
朱亮 ;
卢嘉彬 ;
邱文杰 ;
沈加富 ;
邱敏秀 .
中国专利 :CN105643820A ,2016-06-08
[6]
单晶硅棒破方切整装置 [P]. 
夏学军 .
中国专利 :CN202753294U ,2013-02-27
[7]
单晶硅棒切方滚磨机床 [P]. 
秦建国 .
中国专利 :CN2880443Y ,2007-03-21
[8]
单晶硅切方装置 [P]. 
冯金生 ;
蔡平 .
中国专利 :CN2825255Y ,2006-10-11
[9]
单晶硅切方机构 [P]. 
冯金生 ;
蔡平 .
中国专利 :CN1951658A ,2007-04-25
[10]
单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片的工艺 [P]. 
张进 .
中国专利 :CN108972919A ,2018-12-11