一种钽铝靶的生产工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201510569380.5
申请日
2015-09-09
公开(公告)号
CN106521430A
公开(公告)日
2017-03-22
发明(设计)人
姚力军 潘杰 相原俊夫 大岩一彦 王学泽 廖培君
申请人
申请人地址
315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
赵青朵
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[4]
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卢剑玉 ;
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王文远 .
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