一种用于红外光学窗口表面的高硬度SiCN增透保护薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111434690.8

申请日：

2021-11-29

公开(公告)号：

CN114107890A

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

薛俊徐旭张天行熊涛何光宗王航余雪宁

申请人：

申请人地址：

430223 湖北省武汉市江夏区庙山开发区明泽街9号

IPC主分类号：

C23C1402

IPC分类号：

C23C1406 C23C1435 G02B1113

代理机构：

湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102

代理人：

许美红;李艳景

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	公开	公开
2022-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20211129

共 50 条

[1]

红外光学窗口用HfON/BP增透保护膜及其制备方法 [P].

张树玉 ;

黎建明 ;

苏小平 ;

杨海 ;

郝鹏 ;

王宏斌 ;

余怀之 ;

刘伟 .

中国专利 :CN101231352A ,2008-07-30

[2]

红外光学窗口用DLC/BP增透保护膜及其制备方法 [P].

杨海 ;

张树玉 ;

苏小平 ;

黎建明 ;

王宏斌 ;

郝鹏 ;

余怀之 ;

刘伟 .

中国专利 :CN101066844A ,2007-11-07

[3]

一种红外光学用增透保护膜及其制备方法 [P].

韩崇利 .

中国专利 :CN109839679A ,2019-06-04

[4]

一种中长波红外复合增透保护薄膜及制备方法 [P].

冷健 ;

赵志宏 .

中国专利 :CN118441244A ,2024-08-06

[5]

一种红外光学窗口及其制备方法 [P].

李旭光 ;

赵培 .

中国专利 :CN108459361A ,2018-08-28

[6]

一种红外光学窗口及其制造方法 [P].

何少伟 ;

陈鹏杰 ;

王明星 ;

胡庆 ;

徐向东 ;

李伟 .

中国专利 :CN102854548A ,2013-01-02

[7]

一种具有抗反射表面的ZnS红外光学窗口及其制备方法 [P].

李阳平 ;

刘正堂 ;

徐启远 ;

武倩 .

中国专利 :CN102253434A ,2011-11-23

[8]

一种红外窗口增透保护结构及其制备方法 [P].

张美奇 ;

赵培 .

中国专利 :CN112080722A ,2020-12-15

[9]

一种红外光学窗口的制备方法 [P].

李旭光 ;

赵培 .

中国专利 :CN108962730A ,2018-12-07

[10]

大尺寸红外光学元件低应力保护增透薄膜的制备方法 [P].

李洪涛 ;

张天行 ;

熊涛 ;

何光宗 ;

薛俊 ;

王航 ;

余雪宁 .

中国专利 :CN114774847B ,2024-01-23

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