一种MEMS压阻式加速度计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310582072.7

申请日：

2013-11-20

公开(公告)号：

CN103575932A

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

刘勐郭吉洪王奇汪家奇

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号

IPC主分类号：

G01P1518

IPC分类号：

G01P1512

代理机构：

大连星海专利事务所 21208

代理人：

裴毓英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-12	公开	公开
2016-03-02	授权	授权
2020-10-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 15/18 申请日:20131120 授权公告日:20160302 终止日期:20191120
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578336482 IPC(主分类):G01P 15/18 专利申请号:2013105820727 申请日:20131120

共 50 条

[1]

一种MEMS压阻式加速度计 [P].

刘勐 ;

郭吉洪 ;

王奇 ;

汪家奇 .

中国专利 :CN203606386U ,2014-05-21

[2]

一种压阻式MEMS加速度计 [P].

王鹏 ;

郭群英 ;

汪祖民 ;

何凯旋 ;

陈博 ;

陈璞 ;

王文婧 ;

黄斌 ;

徐栋 ;

吕东锋 .

中国专利 :CN102967729A ,2013-03-13

[3]

一种高g值MEMS压阻式加速度计 [P].

武浩 ;

于天朋 ;

付博 ;

陈红 ;

刘东 ;

李慧娟 ;

葛志鹏 ;

韩世杰 .

中国专利 :CN216816728U ,2022-06-24

[4]

压阻式高g值加速度计 [P].

石云波 ;

刘俊 ;

张文栋 ;

崔永俊 ;

杨玉华 ;

孟美玉 ;

张琼 .

中国专利 :CN101118249A ,2008-02-06

[5]

一种三轴压阻式加速度计 [P].

维尼特·辛格 ;

内丘克武克里斯·韦金亚 ;

陈林峰 ;

潘峰 .

中国专利 :CN111766401A ,2020-10-13

[6]

一种三轴压阻式加速度计 [P].

维尼特·辛格 ;

内丘克武克里斯·韦金亚 ;

陈林峰 ;

潘峰 .

中国专利 :CN213875733U ,2021-08-03

[7]

复合梁压阻加速度计 [P].

刘俊 ;

石云波 ;

崔永俊 ;

李孟委 ;

杨玉华 ;

孟美玉 .

中国专利 :CN101034094A ,2007-09-12

[8]

一种三轴压阻式加速度计 [P].

维尼特·辛格 ;

内丘克武克里斯·韦金亚 ;

陈林峰 ;

潘峰 .

中国专利 :CN111735989A ,2020-10-02

[9]

一种三轴压阻式加速度计 [P].

维尼特·辛格 ;

内丘克武克里斯·韦金亚 ;

陈林峰 ;

潘峰 .

中国专利 :CN213121984U ,2021-05-04

[10]

一种MEMS压阻式加速度计及其制备方法 [P].

王德奇 ;

蒋治国 ;

董叶飞 ;

王飞翔 .

中国专利 :CN118050540A ,2024-05-17

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