氧化锌系烧结体及其制造方法和溅射靶以及透明导电膜

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专利类型
发明
申请号
CN201480011513.0
申请日
2014-02-20
公开(公告)号
CN105008306A
公开(公告)日
2015-10-28
发明(设计)人
窪内裕太
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C04B35453
IPC分类号
C23C1434
代理机构
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人
张永康;李英艳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P]. 
长田幸三 .
中国专利 :CN100549219C ,2008-06-25
[2]
氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P]. 
长田幸三 .
中国专利 :CN101208453B ,2008-06-25
[3]
氧化物烧结体及其制造方法,以及溅射靶及透明导电膜 [P]. 
森中泰三 ;
尾野直纪 .
中国专利 :CN1990422A ,2007-07-04
[4]
溅射靶和透明导电膜 [P]. 
井上一吉 ;
松崎滋夫 .
中国专利 :CN1283831C ,2004-09-15
[5]
氧化锌系透明导体、溅射靶以及该溅射靶的制造方法 [P]. 
生泽正克 ;
矢作政隆 .
中国专利 :CN101490766B ,2009-07-22
[6]
氧化镓-氧化锌类溅射靶、透明导电膜及其形成方法 [P]. 
长田幸三 .
中国专利 :CN101326304B ,2008-12-17
[7]
复合氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、以及氧化物透明导电膜及其制造方法 [P]. 
仓持豪人 ;
饭草仁志 ;
涩田见哲夫 .
中国专利 :CN103140454A ,2013-06-05
[8]
复合氧化物烧结体、溅射靶、以及氧化物透明导电膜及其制造方法 [P]. 
仓持豪人 ;
玉野公章 ;
饭草仁志 ;
秋池良 ;
涉田见哲夫 .
中国专利 :CN103987678B ,2014-08-13
[9]
氧化锌系透明导电膜及其制造方法和用途 [P]. 
秋池良 ;
仓持豪人 ;
饭草仁志 .
中国专利 :CN102934175A ,2013-02-13
[10]
氧化锌烧结体、溅射靶材以及氧化锌薄膜 [P]. 
召田雅实 ;
仓持豪人 ;
饭草仁志 ;
尾身健治 ;
涩田见哲夫 .
中国专利 :CN103249693B ,2013-08-14