一种压力传感器

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020153743.X
申请日
2010-04-09
公开(公告)号
CN201653604U
公开(公告)日
2010-11-24
发明(设计)人
刘同庆 沈绍群
申请人
申请人地址
214100 江苏省无锡市滨湖区十八湾路288号(梅园基康里)湖景科技园10号225室
IPC主分类号
G01L118
IPC分类号
代理机构
无锡市大为专利商标事务所 32104
代理人
殷红梅
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种基于硅硅键合的压力传感器 [P]. 
刘同庆 ;
沈绍群 .
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一种MEMS压力传感器 [P]. 
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许克宇 .
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[4]
压力传感器 [P]. 
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[5]
压力传感器 [P]. 
周志健 ;
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熊娟 ;
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一种压力传感器 [P]. 
许克宇 ;
武斌 .
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