一种阻尼可调的精密直驱气浮平台

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710809671.6
申请日
2017-09-11
公开(公告)号
CN107598869B
公开(公告)日
2018-01-19
发明(设计)人
陈东生 张连新 阳红 王宝瑞 刘有海 宋颖慧 张敏 吕磊 戴晓静
申请人
申请人地址
621999 四川省绵阳市919信箱622分箱
IPC主分类号
B25H114
IPC分类号
代理机构
中国工程物理研究院专利中心 51210
代理人
翟长明;韩志英
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
超精密直驱气浮静压导轨组件 [P]. 
卢志伟 ;
李子昂 ;
刘波 ;
张君安 .
中国专利 :CN108494165B ,2024-01-26
[2]
超精密直驱气浮静压导轨组件 [P]. 
卢志伟 ;
李子昂 ;
刘波 ;
张君安 .
中国专利 :CN108494165A ,2018-09-04
[3]
一种气浮精密运动平台 [P]. 
尹自强 ;
罗思鑫 ;
王素娟 ;
张霞峰 ;
林剑 ;
魏棵榕 ;
郭亚文 ;
姚建华 ;
孔德坤 .
中国专利 :CN108466173B ,2018-08-31
[4]
一种高精密气浮平台 [P]. 
李方武 ;
肖安涛 ;
肖安林 ;
李文浩 ;
李方文 .
中国专利 :CN214000075U ,2021-08-20
[5]
一种精密气浮平台 [P]. 
王绍凯 ;
蒋荷洁 ;
史维佳 ;
谭久彬 .
中国专利 :CN113291825A ,2021-08-24
[6]
一种X/Y两轴精密气浮运动平台 [P]. 
吴全会 ;
罗海林 ;
顾大卫 ;
施罗杰 .
中国专利 :CN216229283U ,2022-04-08
[7]
一种直驱式气浮主轴 [P]. 
于久宝 ;
李瑞扬 .
中国专利 :CN110883344A ,2020-03-17
[8]
一种直驱式气浮主轴 [P]. 
于久宝 ;
李瑞扬 .
中国专利 :CN211276533U ,2020-08-18
[9]
精密气浮位移平台 [P]. 
高思田 ;
李琪 ;
施玉书 ;
李伟 ;
李适 ;
王鹤群 ;
王志新 .
中国专利 :CN205438489U ,2016-08-10
[10]
精密气浮位移平台 [P]. 
高思田 ;
李琪 ;
施玉书 ;
李伟 ;
李适 ;
王鹤群 ;
王志新 .
中国专利 :CN105252505A ,2016-01-20