一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122359658.X

申请日：

2021-09-28

公开(公告)号：

CN215785344U

公开(公告)日：

2022-02-11

发明(设计)人：

杨锋

申请人：

申请人地址：

215324 江苏省苏州市昆山市锦溪镇锦辉路432号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B306 B08B314 B08B1300

代理机构：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗工艺 [P].

黎纠 .

中国专利 :CN110449407A ,2019-11-15

[2]

一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗工艺 [P].

陈如明 ;

陈彩丽 ;

卜庆磊 .

中国专利 :CN113751414A ,2021-12-07

[3]

一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗工艺 [P].

游利 .

中国专利 :CN110976414A ,2020-04-10

[4]

一种半导体铝合金零部件用超高洁净处理装置 [P].

谢丽鹏 .

中国专利 :CN113319056B ,2021-08-31

[5]

一种半导体铝合金零部件清洗装置 [P].

张新峰 ;

黄宏嘉 ;

帝玛 ;

陈善亮 ;

杨祚宝 ;

王霖 ;

龙安泽 ;

曹金星 ;

杜陈 ;

应艳阳 .

中国专利 :CN114054416B ,2022-02-18

[6]

一种半导体零部件洁净清洗工艺 [P].

陈如明 ;

陈彩丽 ;

卜庆磊 .

中国专利 :CN113770100A ,2021-12-10

[7]

一种半导体铝合金零部件烘干装置 [P].

赵国华 ;

李亮德 ;

刘生林 ;

唐黎吉 ;

陈建良 ;

虞张娴 .

中国专利 :CN221077088U ,2024-06-04

[8]

一种半导体铝合金零部件烘干装置 [P].

唐为波 ;

王明浩 ;

丁晓娟 .

中国专利 :CN220871369U ,2024-04-30

[9]

一种半导体铝合金零部件烘干装置 [P].

袁林锋 ;

丁盛 ;

许杰 .

中国专利 :CN216898086U ,2022-07-05

[10]

一种适用于半导体零部件的超洁净清洗工艺 [P].

肖铭 .

中国专利 :CN119608648A ,2025-03-14

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