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一种晶圆激光切割装置的定位机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122433434.9
申请日：
2021-10-09
公开(公告)号：
CN215966956U
公开(公告)日：
2022-03-08
发明(设计)人：
锁珍
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区金达路18号厂房1幢北部二楼
IPC主分类号：
B23K2638
IPC分类号：
B23K2640
B23K2670
代理机构：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345
代理人：
乔静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-08 | 授权 | 授权 |