聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120447708.3

申请日：

2011-11-14

公开(公告)号：

CN202347095U

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

徐志淮

申请人：

申请人地址：

215331 江苏省昆山市金阳东路8号

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-25	授权	授权
2021-11-30	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20111114 授权公告日:20120725

共 50 条

[1]

聚对二甲苯真空卧式沉积系统新密封结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202913057U ,2013-05-01

[2]

聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202543315U ,2012-11-21

[3]

聚对二甲苯卧式沉积系统新腔室滚筒复合结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202337818U ,2012-07-18

[4]

一种便于联结的聚对二甲苯卧式真空沉积系统结构 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213203191U ,2021-05-14

[5]

一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213435436U ,2021-06-15

[6]

用于聚对二甲苯的均匀薄膜沉积 [P].

阿曼达·里克曼 ;

詹姆斯·R·史密斯 .

中国专利 :CN112055623A ,2020-12-08

[7]

薄的聚对二甲苯的可靠沉积 [P].

戴聿昌 ;

王玮 ;

康冬阳 .

中国专利 :CN108431151A ,2018-08-21

[8]

聚对二甲苯牙科制品 [P].

理查德·E·拉比 ;

泽巴·帕尔卡尔 ;

余大华 ;

莫塞斯·M·大卫 .

中国专利 :CN112789007B ,2021-05-11

[9]

聚对二甲苯刻蚀方法、聚对二甲苯神经电极及制备方法 [P].

刘琛 ;

张玉明 ;

张浩楠 ;

吕红亮 .

中国专利 :CN118221063A ,2024-06-21

[10]

一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213435439U ,2021-06-15

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