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快速响应薄膜压力传感器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710961317.5
申请日：
2017-10-17
公开(公告)号：
CN107543644A
公开(公告)日：
2018-01-05
发明(设计)人：
雷念程
申请人：
申请人地址：
102101 北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路8号院26号楼
IPC主分类号：
G01L702
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 7/02 申请日:20171017 |
| 2018-01-05 | 公开 | 公开 |