共 50 条
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安装装置和安装方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780032721.2
申请日：
2017-03-21
公开(公告)号：
CN109155262A
公开(公告)日：
2019-01-04
发明(设计)人：
水谷义人
朝日昇
仁村将次
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2160
IPC分类号：
H01L2152
H05K1304
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;乔婉
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-15 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/60 申请公布日:20190104 |
| 2019-02-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20170321 |
| 2019-01-04 | 公开 | 公开 |