一种涂覆TiO2薄膜的光波导型微环谐振腔湿度传感器的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810127881.1

申请日：

2018-02-08

公开(公告)号：

CN108469416A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

闫树斌王一飞张勐王梦梦赵学峰张彦军薛晨阳张文栋

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01N2125

IPC分类号：

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-31	公开	公开
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/25 申请公布日:20180831
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/25 申请日:20180208

共 50 条

[1]

一种基于光学微球型谐振腔的湿度传感器 [P].

闫树斌 ;

王梦梦 ;

张勐 ;

王一飞 ;

赵学峰 ;

张彦军 ;

薛晨阳 ;

张文栋 .

中国专利 :CN108548795A ,2018-09-18

[2]

一种余弦型光栅微环谐振腔传感器及其测试方法 [P].

邓俊 ;

苏国帅 ;

曹丽敏 .

中国专利 :CN119309608A ,2025-01-14

[3]

一种光波导谐振腔型传感设备 [P].

王帆 ;

董宁宁 ;

田玉冰 ;

施燕博 ;

武晓东 .

中国专利 :CN102564960A ,2012-07-11

[4]

一种光波导谐振腔型传感设备 [P].

王帆 ;

董宁宁 ;

田玉冰 ;

施燕博 ;

武晓东 .

中国专利 :CN201897570U ,2011-07-13

[5]

一种基于游标效应的微环谐振腔声传感器 [P].

崔建功 ;

黄浩铭 ;

兰博文 ;

张泽滨 ;

王雅洁 ;

刘宇 ;

张文栋 ;

王任鑫 ;

贾利成 ;

张国军 .

中国专利 :CN120369095A ,2025-07-25

[6]

基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器 [P].

管小伟 ;

戴道锌 .

中国专利 :CN114813573B ,2025-03-18

[7]

基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器 [P].

管小伟 ;

戴道锌 .

中国专利 :CN114813573A ,2022-07-29

[8]

基于SOI的狭缝波导的栅环谐振腔折射率传感器 [P].

顾洪军 ;

李佳林 ;

侯丽新 ;

杨悦 ;

郑国庆 ;

周婧 ;

何仪轩 ;

赵奕飞 ;

苏明伟 .

中国专利 :CN119023619A ,2024-11-26

[9]

一种基于微环谐振腔的温度传感器及其测试方法 [P].

苏国帅 ;

马正泰 ;

曹丽敏 .

中国专利 :CN118565651A ,2024-08-30

[10]

基于自干涉型微环谐振腔光传感器的多模态测量方法 [P].

邹长铃 ;

胡东 ;

任宏亮 ;

董春华 .

中国专利 :CN110554006B ,2019-12-10

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