一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911170114.X

申请日：

2019-11-26

公开(公告)号：

CN110911312A

公开(公告)日：

2020-03-24

发明(设计)人：

卢威戴泽辉

申请人：

申请人地址：

276018 山东省临沂市罗庄区傅庄街道办事处土山屯村

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401

代理人：

彭志坚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191126
2020-03-24	公开	公开

共 50 条

[1]

一种冷轧退火炉加湿装置 [P].

李文波 ;

付友昌 ;

刘顺明 ;

李冠雄 ;

王贵阳 ;

谭瑾峰 ;

宋广林 ;

何宝泉 ;

赵志坚 ;

刘顺心 .

中国专利 :CN203890400U ,2014-10-22

[2]

退火炉内水浴增湿装置及其使用方法 [P].

李志俊 .

中国专利 :CN115652038A ,2023-01-31

[3]

退火炉气体加湿装置 [P].

倪金刚 .

中国专利 :CN202030789U ,2011-11-09

[4]

一种退火炉加湿装置及其控制方法 [P].

刘靖 ;

司良英 ;

任中一 ;

颜廷洲 ;

李立 ;

兰晓栋 ;

张路 ;

王承刚 .

中国专利 :CN117867252A ,2024-04-12

[5]

退火炉及其使用方法 [P].

戴伟存 ;

庞鑫 ;

彭耀龙 .

中国专利 :CN118207400A ,2024-06-18

[6]

一种加湿装置及退火炉 [P].

李鑫 ;

徐英波 ;

张永国 ;

王道金 ;

王振鹏 ;

董叶龙 .

中国专利 :CN214782021U ,2021-11-19

[7]

一种退火炉气体加湿装置 [P].

马玉伟 ;

王建明 ;

马耀 ;

王瑞兴 ;

马若祎 ;

马梓博 .

中国专利 :CN222411708U ,2025-01-28

[8]

一种冷轧退火炉 [P].

应鸿帅 ;

赵伟炜 .

中国专利 :CN220767088U ,2024-04-12

[9]

一种冷轧退火炉 [P].

唐金平 .

中国专利 :CN222834354U ,2025-05-06

[10]

一种冷轧退火炉 [P].

古礼芬 ;

夏慧贞 ;

唐云生 ;

严国星 .

中国专利 :CN114657355B ,2024-02-09

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