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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-20 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 4/06 变更事项:专利权人 变更前:广东省新材料研究所 变更后:广东省科学院新材料研究所 变更事项:地址 变更前:510651 广东省广州市天河区长兴路363号 变更后:510651 广东省广州市天河区长兴路363号 |
| 2016-07-27 | 公开 | 公开 |
| 2018-03-02 | 授权 | 授权 |
| 2016-08-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101675835334 IPC(主分类):C23C 4/06 专利申请号:2016101559816 申请日:20160317 |