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MEMS麦克风及其振膜结构
被引：0
申请号：
CN202011630953.8
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN114697841A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
胡永刚
冷华星
冯栋
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
IPC主分类号：
H04R1904
IPC分类号：
H04R706
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
虞凌霄
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 19/04 申请日:20201230 |