一种基板搬运装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201320467638.7
申请日
2013-08-01
公开(公告)号
CN203339131U
公开(公告)日
2013-12-11
发明(设计)人
温召虎 范晓帅 蔺聪 赵海生
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L2167
代理机构
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人
黄志华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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一种基板搬运装置 [P]. 
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