热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110250003.7

申请日：

2011-08-26

公开(公告)号：

CN102383112B

公开(公告)日：

2012-03-21

发明(设计)人：

斋藤孝规中岛诚

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

C30B3112 H01L21205 H01L2122 H01L2131 H01L21324

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/46 申请日:20110826 授权公告日:20150204 终止日期:20210826
2015-02-04	授权	授权
2013-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101448117777 IPC(主分类):C23C 16/46 专利申请号:2011102500037 申请日:20110826
2012-03-21	公开	公开

共 50 条

[1]

热处理装置 [P].

小林聪树 .

中国专利 :CN210325699U ,2020-04-14

[2]

热处理装置 [P].

小林聪树 .

中国专利 :CN210378972U ,2020-04-21

[3]

立式热处理装置及热处理方法 [P].

小林武史 .

中国专利 :CN102124547A ,2011-07-13

[4]

热处理方法以及热处理装置 [P].

谷村英昭 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN106340451A ,2017-01-18

[5]

热处理装置以及热处理方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102737988A ,2012-10-17

[6]

热处理装置及热处理方法 [P].

石原淳司 ;

矶明典 ;

増田浩一 .

日本专利 :CN116475034B ,2024-12-06

[7]

热处理装置和热处理方法 [P].

片冈勇树 ;

东条行雄 .

中国专利 :CN101127298B ,2008-02-20

[8]

热处理装置和热处理方法 [P].

中村卓弘 ;

铁林宽昭 ;

上田刚志 .

中国专利 :CN110885962B ,2020-03-17

[9]

热处理装置及热处理方法 [P].

高桥清 .

中国专利 :CN102177407A ,2011-09-07

[10]

热处理方法和热处理装置 [P].

松冈孝明 .

中国专利 :CN1253928C ,2004-04-07

← 1 2 3 4 5 →