共 50 条
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带扩展装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910525704.3
申请日：
2019-06-18
公开(公告)号：
CN110620076A
公开(公告)日：
2019-12-27
发明(设计)人：
服部笃
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2168
H01L2178
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;黄纶伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20190618 |