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离子注入方法及离子注入装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910648386.X
申请日：
2019-07-18
公开(公告)号：
CN110739213A
公开(公告)日：
2020-01-31
发明(设计)人：
川崎洋司
佐佐木玄
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21265
IPC分类号：
H01L2167
H01J37317
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
朴勇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-31 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/265 申请日:20190718 |