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一种涂布方法和涂布系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010449093.1
申请日：
2020-05-25
公开(公告)号：
CN113448173A
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
熊超超
李瑶
申请人：
申请人地址：
402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房)
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
代理机构：
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268
代理人：
徐凯凯;刘芙蓉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-01 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20200525 |
| 2021-09-28 | 公开 | 公开 |