一种制备单晶硅绒面的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910091827.7

申请日：

2009-08-26

公开(公告)号：

CN101634027A

公开(公告)日：

2010-01-27

发明(设计)人：

勾宪芳许颖励旭东宋爽张燕鹏谢芳吉

申请人：

申请人地址：

100191北京市海淀区花园路3号

IPC主分类号：

C23F132

IPC分类号：

C30B3310 H01L3118

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

徐宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-27	公开	公开
2011-09-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101183788672 IPC(主分类):C23F 1/32 专利申请号:2009100918277 公开日:20100127

共 50 条

[1]

一种制备单晶硅绒面的方法 [P].

杜建国 ;

张东 ;

励旭东 ;

王春燕 .

中国专利 :CN102108557A ,2011-06-29

[2]

制备单晶硅绒面的方法 [P].

高周妙 ;

沈专 ;

马跃 ;

戴燕华 ;

王景霄 ;

陈文浚 .

中国专利 :CN101634046A ,2010-01-27

[3]

一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法 [P].

许颖 ;

勾宪芳 ;

励旭东 ;

宋爽 ;

张燕鹏 ;

谢芳吉 .

中国专利 :CN101634026A ,2010-01-27

[4]

一种制备单晶硅绒面的碱腐蚀溶液及方法 [P].

蒋冬 ;

方为仁 .

中国专利 :CN101423942A ,2009-05-06

[5]

一种用于单晶硅绒面制备的腐蚀液及单晶硅绒面的制备方法 [P].

李海玲 ;

王文静 ;

赵雷 ;

周春兰 ;

刁宏伟 .

中国专利 :CN101570897A ,2009-11-04

[6]

一种制备单晶硅绒面的预处理方法 [P].

吕晓华 ;

彭平 ;

夏中高 ;

顾鹏 .

中国专利 :CN107523881A ,2017-12-29

[7]

一种制作单晶硅绒面的方法及腐蚀液 [P].

李建飞 ;

汪琴霞 ;

黄镇 ;

郭建东 ;

樊选东 .

中国专利 :CN102181935A ,2011-09-14

[8]

单晶硅太阳电池绒面的制备方法 [P].

徐晓群 ;

孙励斌 ;

李华维 ;

殷海亭 ;

陈斌 ;

甘旭 ;

黄岳文 ;

唐则祁 ;

胡宏勋 .

中国专利 :CN101431124A ,2009-05-13

[9]

一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法 [P].

汪琴霞 .

中国专利 :CN103184523A ,2013-07-03

[10]

一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法 [P].

李一鸣 ;

吴冰 ;

张震华 .

中国专利 :CN113913188A ,2022-01-11

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