一种气相晶体生长压力自动控制系统

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专利类型
发明
申请号
CN200710043841.0
申请日
2007-07-16
公开(公告)号
CN101117727A
公开(公告)日
2008-02-06
发明(设计)人
陈之战 施尔畏 肖兵
申请人
申请人地址
200050上海市定西路1295号
IPC主分类号
C30B2500
IPC分类号
C30B2516
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
变矩器压力自动控制系统 [P]. 
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