高惯量旋转载台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820249730.9

申请日：

2018-02-12

公开(公告)号：

CN208090221U

公开(公告)日：

2018-11-13

发明(设计)人：

郑进忠

申请人：

申请人地址：

中国台湾苑里镇苑港里2邻苑港10-59号1楼

IPC主分类号：

F16M1108

IPC分类号：

F16M1118 F16M1122 H02K7116

代理机构：

北京汇信合知识产权代理有限公司 11335

代理人：

赵倩

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-13	授权	授权

共 50 条

[1]

升降旋转载台 [P].

孙丰 ;

曹镝 .

中国专利 :CN223260553U ,2025-08-22

[2]

显微镜旋转载台 [P].

聂伟 ;

林育全 ;

陈志远 ;

高敬国 .

中国专利 :CN220438647U ,2024-02-02

[3]

硅片目检旋转载台 [P].

周诗 .

中国专利 :CN216213360U ,2022-04-05

[4]

旋转载料台接水单元、旋转载料台及晶棒加工系统 [P].

赵少锋 ;

国世光 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

朱鹏飞 ;

郑哲军 .

中国专利 :CN220784477U ,2024-04-16

[5]

内嵌升降PIN的旋转载台 [P].

赵裕兴 ;

韩秋杰 .

中国专利 :CN220400561U ,2024-01-26

[6]

旋转载台及光学设备 [P].

刘震 ;

陈楠 ;

彭韬 ;

邹青云 .

中国专利 :CN214604179U ,2021-11-05

[7]

旋转载料台电气单元、旋转载料台及晶棒加工系统 [P].

国世光 ;

赵少锋 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

朱鹏飞 .

中国专利 :CN220763123U ,2024-04-12

[8]

过渡转载台 [P].

肖龙 .

中国专利 :CN205526575U ,2016-08-31

[9]

一种变角度旋转载物台 [P].

张方辉 ;

宋得瑞 ;

强博文 ;

刘晋红 .

中国专利 :CN205859523U ,2017-01-04

[10]

带集尘的晶圆吸附旋转载台 [P].

赵裕兴 ;

丁雪健 ;

冯唐忠 .

中国专利 :CN223651391U ,2025-12-09

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