一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置

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申请号
CN202221342043.4
申请日
2022-05-31
公开(公告)号
CN217536164U
公开(公告)日
2022-10-04
发明(设计)人
王文涛 张亮旗 王世权 张帆
申请人
申请人地址
225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道南侧3号
IPC主分类号
C23F108
IPC分类号
B08B100
代理机构
广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671
代理人
卢斌
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用于该装置的蚀刻方法 [P]. 
王文涛 ;
张亮旗 ;
王世权 ;
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[2]
一种火山口喷淋蚀刻加工装置及蚀刻液 [P]. 
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魏中凯 ;
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[3]
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[4]
一种弹片的蚀刻加工装置 [P]. 
沈方晨 .
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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王世权 ;
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[10]
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