可移动的边缘环设计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780089345.0

申请日：

2017-07-24

公开(公告)号：

CN110506326A

公开(公告)日：

2019-11-26

发明(设计)人：

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫乔恩·麦克切斯尼

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-26	公开	公开
2019-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20170724

共 50 条

[1]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN118248616A ,2024-06-25

[2]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN118248615A ,2024-06-25

[3]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN113707530B ,2024-07-30

[4]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN118248617A ,2024-06-25

[5]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN110506326B ,2024-03-19

[6]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

中国专利 :CN113707530A ,2021-11-26

[7]

衬底处理系统的可移动边缘环 [P].

罗希妮·米什拉 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 .

中国专利 :CN114223054A ,2022-03-22

[8]

用于等离子处理系统的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

达雷尔·埃利希 ;

约翰尼·彭 .

美国专利 :CN119487606A ,2025-02-18

[9]

半导体晶片处理期间控制边缘处理的可移动边缘耦合环 [P].

严浩全 ;

罗伯特·格里菲斯·奥尼尔 ;

拉斐尔·卡萨斯 ;

乔恩·麦克切斯尼 ;

亚历克斯·帕特森 .

中国专利 :CN105810609A ,2016-07-27

[10]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

美国专利 :CN121122995A ,2025-12-12

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