多晶硅生产过程中含氯硅烷废气的简易检测装置及其检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510094528.4

申请日：

2015-03-03

公开(公告)号：

CN104990995A

公开(公告)日：

2015-10-21

发明(设计)人：

张雷鹏涂夏明唐明元王绍祖屈杰蒋晓龙苟文娜郭张利

申请人：

申请人地址：

712038 陕西省咸阳市渭城区正阳镇河堤路东段

IPC主分类号：

G01N3002

IPC分类号：

G01N3116

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 30/02 申请日:20150303 授权公告日:20180227 终止日期:20190303
2015-10-21	公开	公开
2016-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101642792981 IPC(主分类):G01N 30/02 专利申请号:2015100945284 申请日:20150303
2018-02-27	授权	授权

共 50 条

[1]

多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30

[2]

多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料的干法回收处理装置 [P].

杜娜 ;

高帧棋 ;

蒙敏 ;

涂夏明 ;

王政 ;

李晓桌 ;

谢春荣 .

中国专利 :CN204454611U ,2015-07-08

[3]

多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料的干法回收方法 [P].

郭波 ;

高帧棋 ;

唐明元 ;

涂夏明 ;

王绍祖 ;

赵成业 .

中国专利 :CN104692391A ,2015-06-10

[4]

多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料连续回收专用系统 [P].

高桢祺 ;

郭波 ;

刘佳 ;

涂夏明 ;

翁博丰 ;

宋安宁 ;

刘全旺 ;

李晓卓 .

中国专利 :CN204824191U ,2015-12-02

[5]

多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202226742U ,2012-05-23

[6]

多晶硅生产过程中废气的回收方法 [P].

侯雨 ;

王惠 ;

宋高杰 ;

相文强 ;

董越杰 ;

赵阳 .

中国专利 :CN111036029A ,2020-04-21

[7]

多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料连续回收专用系统及方法 [P].

高桢祺 ;

郭波 ;

刘佳 ;

涂夏明 ;

翁博丰 ;

宋安宁 ;

刘全旺 ;

李晓卓 .

中国专利 :CN105152171A ,2015-12-16

[8]

多晶硅生产过程中热量利用的装置及方法 [P].

齐林喜 ;

赵亮 .

中国专利 :CN102786055A ,2012-11-21

[9]

一种多晶硅生产过程中含氯硅烷废渣液的回收利用系统 [P].

赵成武 ;

罗佳林 .

中国专利 :CN212893909U ,2021-04-06

[10]

用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置 [P].

苟文娜 ;

郭张利 ;

杜娜 ;

蒋晓龙 .

中国专利 :CN204536066U ,2015-08-05

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