应用于机械设备几何误差测量的三自由度激光测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310168047.4

申请日：

2013-05-08

公开(公告)号：

CN104142123A

公开(公告)日：

2014-11-12

发明(设计)人：

肖鹏飞池峰陈勇辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101590944978 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2013101680474 申请日:20130508
2017-04-05	授权	授权
2017-08-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756861275 IPC(主分类):G01B 11/02 专利号:ZL2013101680474 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2014-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

用于测量转轴六自由度几何误差的激光测量系统及方法 [P].

冯其波 ;

杨婧 .

中国专利 :CN106595480A ,2017-04-26

[2]

激光六自由度几何误差测量系统及方法 [P].

冯其波 ;

郑发家 ;

龙飞 ;

张斌 ;

杨婧 .

中国专利 :CN119334243B ,2025-10-28

[3]

激光六自由度几何误差测量系统及方法 [P].

冯其波 ;

郑发家 ;

龙飞 ;

张斌 ;

杨婧 .

中国专利 :CN119334243A ,2025-01-21

[4]

一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法 [P].

冯其波 ;

郑发家 ;

贾培智 ;

杨婧 ;

张斌 ;

李家琨 .

中国专利 :CN114046733B ,2024-01-26

[5]

一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法 [P].

冯其波 ;

郑发家 ;

贾培智 ;

杨婧 ;

张斌 ;

李家琨 .

中国专利 :CN114046733A ,2022-02-15

[6]

一种三自由度柔性机械设备 [P].

李少波 ;

周鹏 ;

张钧星 ;

潘光贤 .

中国专利 :CN210500316U ,2020-05-12

[7]

一种三自由度激光干涉测量装置 [P].

陈钦顺 ;

朱凡 ;

黄锐婷 ;

王金梦 ;

陈艳 ;

黄祥青 ;

叶贤基 .

中国专利 :CN116428966B ,2025-08-22

[8]

微纳操控平台三自由度的测量系统及其测量方法 [P].

张蓓 ;

刘雨 ;

赵子琪 ;

高枫 ;

闫鹏 .

中国专利 :CN106931884B ,2017-07-07

[9]

超高精度三自由度转角测量系统及测量方法 [P].

韩春杨 ;

丁宝禄 ;

徐振邦 ;

梅金源 ;

于鹏 .

中国专利 :CN119879783A ,2025-04-25

[10]

超高精度三自由度转角测量系统及测量方法 [P].

韩春杨 ;

丁宝禄 ;

徐振邦 ;

梅金源 ;

于鹏 .

中国专利 :CN119879783B ,2025-06-17

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