低温低压类金刚石膜化学气相沉积反应腔

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620672597.9

申请日：

2016-06-30

公开(公告)号：

CN205839124U

公开(公告)日：

2016-12-28

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区郭守敬路498号8幢19501-19503室

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C1652 C23C16458

代理机构：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-28	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积金刚石厚膜的焊接方法 [P].

孙凤莲 ;

李丹 ;

赵蜜 .

中国专利 :CN100354066C ,2004-10-27

[2]

化学气相沉积金刚石的装置 [P].

李凯 ;

于再林 ;

李明欣 .

中国专利 :CN117926214A ,2024-04-26

[3]

一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔 [P].

黄飞 .

中国专利 :CN208545490U ,2019-02-26

[4]

类金刚石薄膜低温沉积装置 [P].

范思大 ;

张帅 ;

张孝蹯 ;

陆杰 ;

杨家强 ;

崔虎山 ;

许开东 .

中国专利 :CN223633461U ,2025-12-05

[5]

一种低温低压化学气相沉积反应腔 [P].

张建锐 ;

曹峰峰 .

中国专利 :CN213232483U ,2021-05-18

[6]

用于铝材表面沉积类金刚石膜的装置 [P].

张溪文 .

中国专利 :CN2937155Y ,2007-08-22

[7]

多层化学气相沉积金刚石复合片 [P].

龚闯 ;

吴剑波 ;

朱长征 ;

余斌 .

中国专利 :CN206475522U ,2017-09-08

[8]

韧化的化学气相沉积金刚石 [P].

T·R·安东尼 ;

W·F·班霍尔泽 ;

C·L·施皮罗 ;

S·W·韦布 ;

B·E·威廉斯 .

中国专利 :CN1112904A ,1995-12-06

[9]

化学气相沉积金刚石均质喷嘴 [P].

周兵 ;

陈继锋 ;

刘志平 ;

刘广录 ;

郭松寿 ;

张柏春 .

中国专利 :CN2423289Y ,2001-03-14

[10]

化学气相沉积改性的多晶金刚石 [P].

G·萨伊尼 ;

梁齐 .

中国专利 :CN106795627A ,2017-05-31

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