钎焊接头和具有钎焊接头的半导体处理腔室部件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910048660.X

申请日：

2019-01-18

公开(公告)号：

CN110060943A

公开(公告)日：

2019-07-26

发明(设计)人：

戈文达·瑞泽汤姆·K·乔哈米德·毛希丁兰·韦洛

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

C23C1600 C23C1400

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190118
2019-07-26	公开	公开

共 50 条

[1]

钎焊接头和钎焊接头的形成方法 [P].

上岛稔 ;

立花芳惠 .

中国专利 :CN111344844A ,2020-06-26

[2]

钎焊接合方法和钎焊接头 [P].

稻叶耕 ;

竹政哲 ;

小菅正 .

中国专利 :CN109661726A ,2019-04-19

[3]

加工待钎焊接头的方法、加工钎焊接头的方法和主动钎焊接头 [P].

K·魏德曼 ;

S·M·普伊多卡斯 .

中国专利 :CN114375235A ,2022-04-19

[4]

钎焊接头 [P].

西村哲郎 .

中国专利 :CN101896310B ,2010-11-24

[5]

钎焊接头的制造方法以及钎焊接头 [P].

钱谷佑 ;

西畑一见 ;

泰山正则 .

中国专利 :CN106794533B ,2017-05-31

[6]

钎焊方法、钎焊接头和钎料 [P].

克里斯托夫·科尼尔 ;

马库斯·霍蒂斯 .

:CN118872015A ,2024-10-29

[7]

焊膏和钎焊接头 [P].

兴梠素基 ;

吉川俊策 ;

冈田咲枝 ;

糸山太郎 ;

小室秀之 ;

平井尚子 ;

清水庆太朗 .

中国专利 :CN105283267B ,2016-01-27

[8]

钎焊接头的封装方法 [P].

陈海燕 ;

彭建科 ;

傅莉 .

中国专利 :CN105618882A ,2016-06-01

[9]

用于基板处理部件的金属陶瓷钎焊接头 [P].

戈文达·瑞泽 ;

汤姆·K·乔 ;

哈米德·毛希丁 ;

兰·韦洛 .

中国专利 :CN209312730U ,2019-08-27

[10]

无铅焊料和钎焊接头 [P].

吉留大辅 ;

田中靖久 .

中国专利 :CN1190294C ,2002-09-18

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