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磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920945719.0
申请日：
2019-06-22
公开(公告)号：
CN210176942U
公开(公告)日：
2020-03-24
发明(设计)人：
丁磊
李晓哲
申请人：
申请人地址：
361000 福建省厦门市海沧区新阳街道阳光路10号生产车间二一楼之一
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190622 授权公告日:20200324 终止日期:20210622 |
| 2020-03-24 | 授权 | 授权 |