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激光干涉测量系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010316331.1
申请日：
2020-04-21
公开(公告)号：
CN111351511A
公开(公告)日：
2020-06-30
发明(设计)人：
张少林
张万祯
周秋玲
刘团结
申请人：
申请人地址：
518101 广东省深圳市宝安区西乡街道桃源社区航城工业区展丰工业园B1栋5层
IPC主分类号：
G01D526
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
汪洁丽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-30 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/26 申请日:20200421 |