无磨料的化学机械抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010298156.4

申请日：

2010-09-21

公开(公告)号：

CN102031065A

公开(公告)日：

2011-04-27

发明(设计)人：

王红雨 S·A·伊比特森 T·高希 M·R·温克勒

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

C09G116

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;周承泽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-27	公开	公开
2016-11-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101687183930 IPC(主分类):C09G 1/16 专利号:ZL2010102981564 申请日:20100921 授权公告日:20130911 终止日期:20150921
2013-09-11	授权	授权
2011-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101079130785 IPC(主分类):C09G 1/16 专利申请号:2010102981564 申请日:20100921

共 50 条

[1]

不含磨料的化学机械抛光组合物及相关方法 [P].

T·高希 ;

R·D·所罗门 ;

王红雨 .

中国专利 :CN100362068C ,2006-06-07

[2]

化学机械抛光组合物及有关的方法 [P].

F·J·凯勒 ;

J·匡西 ;

J·K·索 ;

王红雨 .

中国专利 :CN1715310A ,2006-01-04

[3]

化学机械抛光组合物及有关的方法 [P].

F·J·凯勒 ;

J·匡西 ;

J·K·索 ;

王红雨 .

中国专利 :CN1715311A ,2006-01-04

[4]

化学机械抛光组合物及其相关方法 [P].

T·高希 ;

T·M·托马斯 ;

王红雨 .

中国专利 :CN101649164A ,2010-02-17

[5]

化学机械抛光组合物 [P].

C·达施莱茵 ;

M·西伯特 ;

兰永清 ;

M·劳特尔 ;

S·A·奥斯曼易卜拉欣 ;

R·戈扎里安 ;

魏得育 ;

H·O·格文茨 ;

J·普罗尔斯 ;

L·勒尼森 .

中国专利 :CN111356747A ,2020-06-30

[6]

化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

F·叶 ;

T-C·王 ;

S-H·曾 ;

K·W-H·佟 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN108687654A ,2018-10-23

[7]

化学机械抛光组合物及使用其的化学机械抛光方法 [P].

北村启 ;

并木明久 ;

增田刚 ;

松村义之 .

中国专利 :CN114829521A ,2022-07-29

[8]

化学机械抛光组合物及使用其的化学机械抛光方法 [P].

北村启 ;

并木明久 ;

增田刚 ;

松村义之 .

日本专利 :CN114829521B ,2024-04-09

[9]

钨化学机械抛光组合物 [P].

富琳 ;

S.格拉宾 ;

J.戴萨德 ;

李常怡 .

中国专利 :CN106661430B ,2017-05-10

[10]

化学机械抛光组合物、清洗组合物、化学机械抛光方法和清洗方法 [P].

北村启 ;

增田刚 ;

松村义之 ;

并木明久 ;

齐藤健 .

中国专利 :CN114258421A ,2022-03-29

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