一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010578565.X

申请日：

2010-12-08

公开(公告)号：

CN102558583A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

叶甜春闫学锋李冬梅刘明侯成诚周文汪幸谢常青霍宗亮张满红龙世兵

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

C08J518

IPC分类号：

C08L7904 C08K322 B32B900 G01N2902

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周国城

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101699913966 IPC(主分类):C08J 5/18 专利申请号:201010578565X 申请公布日:20120711
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324732911 IPC(主分类):C08J 5/18 专利申请号:201010578565X 申请日:20101208
2012-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

声表面波传感器 [P].

徐静波 ;

张海英 .

中国专利 :CN106404919A ,2017-02-15

[2]

柔性声表面波传感器制备方法及柔性声表面波传感器 [P].

梁晓瑞 ;

刘儒屹 ;

张磊 ;

谭秋林 .

中国专利 :CN121067931A ,2025-12-05

[3]

声表面波传感器复合敏感膜的制备装置 [P].

胡佳 ;

李臻 ;

李维龙 ;

黄双双 ;

张婧 .

中国专利 :CN203519568U ,2014-04-02

[4]

一种声表面波传感器 [P].

李春东 ;

卞振宇 ;

高源 ;

满成 ;

蒋鹏 ;

徐博宇 ;

尹智炜 ;

王博 ;

王家宇 ;

赵瑞 .

中国专利 :CN210221337U ,2020-03-31

[5]

一种制作声表面波传感器敏感膜的方法 [P].

李冬梅 ;

汪幸 ;

刘明 ;

周文 ;

侯成诚 ;

闫学锋 ;

谢常青 ;

叶甜春 ;

霍宗亮 ;

龙世兵 .

中国专利 :CN102654480A ,2012-09-05

[6]

一种声表面波传感器 [P].

单长锁 .

中国专利 :CN216410437U ,2022-04-29

[7]

一种声表面波传感器 [P].

欧欣 ;

孙米静 ;

张师斌 ;

郑鹏程 ;

何炬星 .

中国专利 :CN117782179A ,2024-03-29

[8]

一种声表面波传感器 [P].

周剑 ;

詹正佳 ;

段辉高 ;

陈哲 ;

张定红 ;

殷长帅 ;

刘立柱 .

中国专利 :CN112179981A ,2021-01-05

[9]

声表面波测量传感器 [P].

李天利 ;

朱克敏 .

中国专利 :CN201837405U ,2011-05-18

[10]

声表面波温度传感器 [P].

李强 ;

李红浪 .

中国专利 :CN102928111B ,2013-02-13

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