一种基板图案阵列的完整性检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811114028.2

申请日：

2018-09-25

公开(公告)号：

CN109378277B

公开(公告)日：

2019-02-22

发明(设计)人：

刘哲

申请人：

申请人地址：

430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20180925
2020-11-24	授权	授权
2019-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种烟支滤嘴凹陷图案完整性检测方法 [P].

张胜健 ;

李铁军 ;

华刚 ;

李强 ;

廖光雄 ;

付干文 ;

万伟 ;

杨得强 ;

李风波 ;

张义伟 ;

颜魏伟 ;

徐伟 ;

杨振强 ;

余辉 .

中国专利 :CN102680498B ,2012-09-19

[2]

镀层完整性检测方法 [P].

陈钢良 ;

严华 ;

唐庆元 ;

徐龙 .

中国专利 :CN105510310A ,2016-04-20

[3]

一种滤膜完整性的检测方法 [P].

王小毛 ;

皮熙东 ;

杨宏伟 ;

解跃峰 .

中国专利 :CN104147937A ,2014-11-19

[4]

栅介质层的完整性检测方法 [P].

何明 ;

郭炜 ;

李爱民 .

中国专利 :CN105388407B ,2016-03-09

[5]

一种视频完整性检测方法 [P].

吴琼 ;

邸文斌 .

中国专利 :CN106791626B ,2017-05-31

[6]

一种列车完整性检测方法 [P].

陈光武 ;

袁祎 ;

杨菊花 ;

程鉴皓 ;

邢东峰 ;

石建强 ;

李朋朋 ;

李鹏 ;

司涌波 .

中国专利 :CN111267911B ,2020-06-12

[7]

一种烟支滤嘴凹陷图案完整性检测装置 [P].

张胜健 ;

李铁军 ;

华刚 ;

李强 ;

廖光雄 ;

付干文 ;

万伟 ;

杨得强 ;

李风波 ;

张义伟 ;

颜魏伟 ;

徐洋 ;

杨振强 ;

余辉 .

中国专利 :CN203078780U ,2013-07-24

[8]

一种烟支滤嘴凹陷图案完整性检测装置 [P].

张胜健 ;

李铁军 ;

华刚 ;

李强 ;

廖光雄 ;

付干文 ;

万伟 ;

杨得强 ;

李风波 ;

张义伟 ;

颜魏伟 ;

徐洋 ;

杨振强 ;

余辉 .

中国专利 :CN103057739A ,2013-04-24

[9]

一种基桩完整性的检测方法 [P].

黄阳 ;

张雄水 ;

施峰 ;

梁曦 ;

顾金顺 ;

林清意 ;

章东 .

中国专利 :CN104763000A ,2015-07-08

[10]

数字录音完整性检测方法 [P].

沈一峰 ;

贾珈 ;

蔡莲红 .

中国专利 :CN102592588A ,2012-07-18

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