共 50 条
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包括压电致动器或电致伸缩致动器的致动器组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080037099.6
申请日：
2020-05-12
公开(公告)号：
CN113841090A
公开(公告)日：
2021-12-24
发明(设计)人：
H·巴特勒
B·詹森
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
胡良均
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-24 | 公开 | 公开 |
| 2022-06-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200512 |